[00073941]一种基于数据采集卡的多振幅交流偏置探针等离子体诊断方法
技术详细介绍
本发明属于等离子体技术领域，一种基于数据采集卡的多振幅交流偏置探针等离子体诊断方法，本发明基于数据采集卡产生交流偏置信号，经功率放大器驱动，再经过取样电阻加在置于等离子体中的探针上，同时，计算机指令的数据采集卡的差分模拟输入端口采集取样电阻上的电压信号送入计算机，并由计算机换算成电流信号；经过频谱分析再进行最小二乘法拟合及进一步计算得到准确的电子温度值和离子密度值。本发明解决了现有的固定振幅交流偏置探针的诊断技术测量电子温度和离子密度不准确的问题，能够诊断等离子体特别是绝缘沉积环境等离子体，并能够自动完成等离子体诊断过程，输出准确的电子温度值和离子密度值。
