[00074045]采用激光曲面镜反射进行熔硅液位检测的装置及检测方法
联系人： 西安理工大学
所在地： 陕西西安市
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技术详细介绍
摘要：本发明公开的采用曲面反射镜线性光学放大的激光液面检测装置，单晶炉的顶部两侧对称开有两个开口，开口上分别设置有激光装置和CCD检测装置，激光装置和CCD检测装置中预设置信号处理装置。本发明利用该装置检测液面高度的方法，先建立模型模拟激光运行路线，计算得到符合要求的曲面镜多项式曲线函数，然后再将加工的曲面反射镜设置在CCD检测装置中，熔硅液面高度的变化就可以反应在CCD传感器上，就可以计算得到熔硅液面实际高度的变化。采用本发明的激光液面检测装置来检测液面高度，能够实时检测单晶炉液面位置，提高了检测装置的精度，便于检测信号的读取，还具有准确度高，检测时间短，故障率低，安装、操作简便等优点。
