[00074411]一种基于P（VDF‑TrFE）压电薄膜的驱动泵的制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种基于P(VDF‑TrFE)压电薄膜的驱动泵的制备方法，包括以下步骤1)制备P(VDF‑TrFE)溶液；2)通过P(VDF‑TrFE)溶液制备P(VDF‑TrFE)压电薄膜；3)雕刻制备驱动泵所需的第一支撑层、第二支撑层及通道层；4)图形化制备驱动泵所需的第一胶黏层、第二胶黏层及第三胶黏层；5)在步骤2)得到的P(VDF‑TrFE)压电薄膜上制备工作电极；6)将第一支撑层、第一胶黏层、P(VDF‑TrFE)压电薄膜、第二胶黏层、通道层、第三胶黏层及第二支撑层自上到下依次对准连接，然后再连接测试导线，得基于P(VDF‑TrFE)压电薄膜的驱动泵，该方法制备的驱动泵的驱动电压较小，制备过程较为简单。
