[00074598]一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔
技术详细介绍
一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔，包括腔体，所述腔体上安装有腔盖，所述腔盖上开有片盘取放口，所述片盘取放口处设置有盖子，所述腔体的一侧面上开有片盘进出口，所述片盘进出口处设有阀门，所述腔体上设有用于与机械泵连接的机械泵接口、用于与进气管道连接的进气管道接口，所述腔体内底面上开有导轨槽，所述导轨槽内安装有沿其运动的导轨器，所述导轨器上连接有输送片盘的机械手；所述导轨器与带动其运动的丝杆连接，所述丝杆可转动的安装在腔体内，其一端穿出腔体与伺服电机连接，所述伺服电机固定在腔体的底部。本实用新型的有益效果：机械手的运输机制更简单可靠、成本低。
