[00074616]材料断口表面微观三维形貌干涉检测装置及其检测和数据处理方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种材料断口表面微观三维形貌干涉检测装置，包括光源系统、分束器、测量臂、参考臂和CCD部件。针对材料断口表面复杂的微观形貌，为提高实验的可控性和操作性，系统采用Linnik结构。光源发出的光经透镜准直后被分束器分成两路，一路射向测量臂，另一路射向参考臂，并分别聚焦照射到被测样品表面和参考反射镜表面。被照射微小区域经显微放大，成象光束在分束器会合后相互叠加干涉，再用CCD在成像面处接收干涉光场，所采集的干涉图像数据经USB接口送入计算机。
