[00075117]基于霍夫变换的直拉单晶硅棒直径的测量方法
联系人： 西安理工大学
所在地： 陕西西安市
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技术详细介绍
摘要：本发明公开的基于霍夫变换的直拉单晶硅棒直径的测量方法，首先对晶体生长过程中的图像进行同步采集，然后对图像信息进行预处理，再采用Hough变换对图像中的晶体生长信息进行检测，得到直径、圆心X坐标和圆心Y坐标三个参数，最后对参数空间曲线交点进行均值聚类操作，得到准确的直径测量值。本发明的方法，采用单只摄像头同时实现了引晶和等径阶段的直径检测，检测精度高，速度快。
