[00075224]毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法
技术详细介绍
本发明涉及毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法，通过将洛高夫斯基线圈的总体尺寸设计在亚厘米或数毫米以内、线圈的特征尺寸在数百微米至数十微米以内，实现对于超过兆赫兹乃至百G赫兹的交流信号的超高频超宽带电流信号测量。通过飞秒激光技术制备石英内部的三维复杂微流道，通过高温金属注入固化技术制备电流传感器传感结构，并结合电极封装工艺完成电流传感器的制备。本发明的制备方法可加工具有复杂结构的电磁传感微器件，本发明提出的具有微型化结构的洛高夫斯基电流传感器可实现数兆赫兹到百G赫兹的交流电信号的测量。
