[00075230]高频振动载物台及基于该载物台的SICM系统和扫描方法
技术详细介绍
本发明涉及高频振动载物台及基于该载物台的SICM系统和扫描方法，该载物台包括管状凸缘，管状凸缘上从上往下依次套接上底板、环形压电陶瓷片、环形弹性元件和下底板，上底板和下底板固定相连；管状凸缘的上端有一用于固定样品扫描池的固定底板；上底板和下底板的侧壁上连接用于驱动水平方向运动的XY向压电陶瓷。本发明通过环形压电陶瓷片驱动载物台在垂直的Z方向作高频振动，利用产生的交流反馈信号来限制离子电流漂移，并可极大地提高扫描速度；通过XY向压电陶瓷驱动载物台在水平X和Y方向的移动，更好地提升扫描探针的上下垂直方向的进给速度及扫描速度，使得扫描探针和扫描池载物台相互协同运动，提高成像质量和扫描速度。
