[00075232]一种扫描离子电导显微镜激光定位探头
技术详细介绍
本发明公开了一种扫描离子电导显微镜激光定位探头，包括用于安装探针的探针夹持模块，探针夹持模块上端安装有用于对探针定位的激光定位模块探针夹持模块包括探针夹持器，探针夹持器固定安装于扫描离子电导显微镜粗调手轮机构上，探针夹持器的前端安装有电极夹持器，电极夹持器中安装有探针；激光定位模块包括安装于探针夹持器上的微调滑轨机构，微调滑轨机构上安装于能够进行水平移动的支架结构，支架结构内部安装有用于调节激光光束位置的调节手轮机构，支架结构上安装有连接板结构，连接板结构上安装有激光光路结构。本发明在固定探针的同时，可利用激光对探针进行定位，从而协助扫描离子电导显微镜更加便捷高效地完成样本检测工作。
