[00075246]一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片
技术详细介绍
一种扭转差动式石英谐振加速度传感器芯片，包括外围的硅基支撑框架,硅基支撑框架与质量块通过支撑转轴连接，质量块与支撑外框架之间有运动间隙，在质量块上靠近中轴线部位，开有一对完全贯通的空槽，一对双端石英音叉的谐振梁分别放置于对称的空槽内，双端石英音叉一端固定在硅基支撑框架上，另一端固定在质量块上，当加速度作用于质量块时，质量块在支撑转轴支撑下会产生一定的扭转，石英音叉发生形变，该形变导致石英音叉的谐振频率发生变化，这一变化通过频率检测电路转化为频率信号输出，从而实现传感器芯片的加速度‑频率信号转换，完成对加速度的数字化测量，本发明具有体积小，重量小，数字信号输出、分辨率高和抗干扰性能优良等优点。
