[00075373]一种横向提高多晶硅定向凝固提纯得率的设备和方法
技术详细介绍
本发明公开了一种横向提高多晶硅定向凝固提纯得率的设备和方法，所述设备包括水冷柱，所述水冷柱的侧壁外侧设有环形石墨坩埚，所述水冷柱和所述环形石墨坩埚的轴线位于同一直线上，所述环形石墨坩埚的侧壁外侧设有环形发热体，所述环形发热体的侧壁外侧设有环形加热体，所述环形石墨坩埚的底部设有旋转托盘，所述水冷柱内设有循环流道。本发明采用的是横向凝固方式，并且材料用离心力保证固液界面扩散层厚度降低，增加其分凝效果。
本发明公开了一种横向提高多晶硅定向凝固提纯得率的设备和方法，所述设备包括水冷柱，所述水冷柱的侧壁外侧设有环形石墨坩埚，所述水冷柱和所述环形石墨坩埚的轴线位于同一直线上，所述环形石墨坩埚的侧壁外侧设有环形发热体，所述环形发热体的侧壁外侧设有环形加热体，所述环形石墨坩埚的底部设有旋转托盘，所述水冷柱内设有循环流道。本发明采用的是横向凝固方式，并且材料用离心力保证固液界面扩散层厚度降低，增加其分凝效果。
