[00075700]一种测定薄膜材料屈服行为的装置及其测定方法
技术详细介绍
本发明公开了一种测定薄膜材料屈服行为的装置及其测定方法，属于材料科学技术领域，包括下基板和沉积于下基板上表面的待测薄膜，在待测薄膜的一侧设有压电传感器，压电传感器由沉积在待测薄膜一侧侧壁上的压电材料层及沉积在压电传感材料层上、下表面的铂电极层组成；所述下基板的长度大于待测薄膜的长度。本发明装置结构简单、紧凑，使用方便，本发明方法能够直接采集原始的信号，避免了使用波导，从而利于后续分析，且测试工艺简单易行。
本发明公开了一种测定薄膜材料屈服行为的装置及其测定方法，属于材料科学技术领域，包括下基板和沉积于下基板上表面的待测薄膜，在待测薄膜的一侧设有压电传感器，压电传感器由沉积在待测薄膜一侧侧壁上的压电材料层及沉积在压电传感材料层上、下表面的铂电极层组成；所述下基板的长度大于待测薄膜的长度。本发明装置结构简单、紧凑，使用方便，本发明方法能够直接采集原始的信号，避免了使用波导，从而利于后续分析，且测试工艺简单易行。
