[00075708]一种自动调节的斜入射光路
技术详细介绍
本实用新型属于光学技术领域，公开了一种自动调节的斜入射光路，包括：激光器；第一反射镜，使光束斜入射至样品台表面，由电动旋转镜架控制旋转角度；第二反射镜；分束器；位置探测器，探测得到第二子坐标系中光束中心位置；控制单元，获取第二子坐标系中光束中心位置，计算得出第一子坐标系中光束中心位置，计算得到第一反射镜需要调整的角度，通过发布指令传递给电动旋转镜架，从而调整第一反射镜的旋转角度；本实用新型解决了现有技术中不能自动监控和调节反射镜，且在反射镜发生偏移后，校准精度较低、难度较大、花费时间较长的问题；达到了调节精度高、难度低、时间短的技术效果。
