[00075717]一种干法刻蚀无机材料基板等离子体刻蚀机的传片系统
技术详细介绍
一种干法刻蚀无机材料基板等离子体刻蚀机的传片系统，其安装在预真空腔内，包括运送片盘的机械手，所述机械手固定连接在带动其运动的丝杆螺母上，所述丝杆螺母安装在丝杆上，所述丝杆通过齿轮副与伺服电机连接，所述齿轮副包括与伺服电机转子连接的主齿轮、与丝杆转子连接的副齿轮，所述主齿轮与副齿轮啮合连接。本实用新型的有益效果：传片效率高、可靠性好，且结构简单合理。
一种干法刻蚀无机材料基板等离子体刻蚀机的传片系统，其安装在预真空腔内，包括运送片盘的机械手，所述机械手固定连接在带动其运动的丝杆螺母上，所述丝杆螺母安装在丝杆上，所述丝杆通过齿轮副与伺服电机连接，所述齿轮副包括与伺服电机转子连接的主齿轮、与丝杆转子连接的副齿轮，所述主齿轮与副齿轮啮合连接。本实用新型的有益效果：传片效率高、可靠性好，且结构简单合理。
