[00075864]一种碳化硅化学机械抛光用的抛光液及其制备方法
联系人： 江南大学
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摘要：本发明涉及一种碳化硅化学机械抛光用的抛光液及其制备方法，属于化学机械抛光技术领域。其包覆型氧化硅/氧化铈复合磨粒1%～10%、氧化剂为0.1%～10%、分散剂为0.1%～10%；通过pH调节剂调节pH为2～6，得到碳化硅化学机械抛光用的抛光液。本发明操作方法简单、合理，易于生产，加入分散剂，使得抛光悬浮液分散性好，避免了磨粒的团聚现象，同时采用均相沉淀法制备包覆型氧化硅/氧化铈核壳结构复合磨粒，提高了包覆效果，加入高锰酸钾氧化剂，使得抛光液的抛光效果更加良好。
