本发明公开了一种复合纳米异质结薄膜材料及复合异质结太阳电池制备方法,所述复合纳米异质结薄膜材料制备方法中的复合纳米异质结薄膜材料包括基底、液相生长在基底上的 n 型ZnO 纳米棒阵列薄膜和采用连续离子沉积法在ZnO 纳米棒阵列间隙中填充ZnS 薄膜,是采用ZnS薄膜填充到空隙,再用电化学沉积法把Cu2O沉积在ZnO或ZnS 纳米棒表面。本发明在 ZnO 纳米棒阵列空隙中填充ZnS,再用电化学沉积技术将Cu2O 沉积在ZnO或ZnS 纳米棒表面形成ZnO/ZnS /Cu2O 复合异质结薄膜材料及其制备太阳电池的方法,采用本方法制得的电池成本低,制备简单,电池性能好。