[00076348]一种厚度可控的液相外延薄膜制备装置
技术详细介绍
一种厚度可控的液相外延薄膜制备装置，包括(1)籽晶秆；(2)衬底；(3)炉盖，(4)发热体，(5)炉膛壁，(6)熔体，(7)坩埚，(8)耐火砖，(9)保温砖，(10)炉壳，(11)陶瓷发热体。陶瓷发热体(11)的特征是它受一个独立的温度控制系统控制，其位置是位于籽晶秆和衬底之间，与衬底直接相连。发热体(4)和陶瓷发热体(11)均具有各自独立的温度控制系统；本实用新型通过设置陶瓷发热体，通过控制位于陶瓷发热体下是衬底的温度，以调节被衬底吸附的熔体的粘度，影响熔体在籽晶秆旋转主用下被甩熔体的量，使衬底底部吸附的熔体表面平整，并达到影响膜厚度的效果，保证垂直浸渍液相外延膜生长方法能够生长所需要的膜。
