[00076458]一种采用原位磁场来调控原子层沉积薄膜磁性的方法
技术详细介绍
本发明公开了一种采用原位磁场来调控原子层沉积薄膜磁性的方法，目的在于，制备的Fe3O4薄膜的磁各向异性明显，具有更高的矫埦场，且Fe3O4薄膜表面形貌均匀，粗超度小，所采用的技术方案为，包括1)将洁净的基片放置在永磁体的磁极上，并将基片和永磁体置于真空反应腔体中加热备用，且加热温度小于永磁体的居里温度；2)以二茂铁蒸汽作为铁源，以氧气作为氧源，将二茂铁蒸汽和氧气交替脉冲送入真空反应腔体中，对基片进行若干次原子层沉积循环，直至基片的表面上均匀沉积有保形的Fe3O4薄膜；3)向真空反应腔体中充入惰性气体，待基片自然冷却至室温后取出。
