[00076460]一种采用原子层沉积法制备氧化物/金属磁性异质结的方法
技术详细介绍
本发明提供了一种采用原子层沉积法制备氧化物/金属磁性异质结的方法，该方法采用原子层沉积法，以二茂铁作为铁源，氧气作为氧源，在金属衬底上沉积四氧化三铁，通过原子层沉积系统将二茂铁与氧气交替通入原子层沉积系统的反应腔内，实现四氧化三铁在不同金属衬底上的沉积，进而构建出氧化物/金属磁性异质结。本方法制得的氧化物/金属磁性异质结具有成本低，薄膜成分和厚度精确可控，三维均匀保形好等优点，可作为磁电耦合调控的关键器件。
本发明提供了一种采用原子层沉积法制备氧化物/金属磁性异质结的方法，该方法采用原子层沉积法，以二茂铁作为铁源，氧气作为氧源，在金属衬底上沉积四氧化三铁，通过原子层沉积系统将二茂铁与氧气交替通入原子层沉积系统的反应腔内，实现四氧化三铁在不同金属衬底上的沉积，进而构建出氧化物/金属磁性异质结。本方法制得的氧化物/金属磁性异质结具有成本低，薄膜成分和厚度精确可控，三维均匀保形好等优点，可作为磁电耦合调控的关键器件。
