[00076473]离子源增强电弧离子镀制备高温合金切削刀具涂层的方法
技术详细介绍
本发明公开了一种离子源增强电弧离子镀制备高温合金切削刀具涂层的方法，将高温合金切削刀具预处理后放入离子源增强电弧离子镀膜设备的真空室中的转架杆上，以矩形电弧Ti靶作为底层的Ti来源，通过调整电弧Ti靶的电流控制电弧Ti靶的溅射率；以圆形电弧CrAl靶作为制备CrAlN涂层的Cr、Al元素来源，通过调整电弧CrAl靶的电流控制电弧CrAl靶的溅射率；将高纯Ar和高纯N2通过离子源进入真空室，其中，Ar作为离化气体，保证有效的辉光放电过程；N2作为反应气体，使其离化并与Cr、Al元素结合，在高温合金切削刀具表面沉积形成CrAlN涂层，所制备的CrAlN涂层，其抗氧化温度为1000℃，显微硬度Hv3500，能很好满足高温合金切削刀具的耐磨损性能、抗热疲劳性能和抗氧化性能要求。
