[00076478]一种塑性金属纳米Cu/Ru多层膜的制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种塑性金属纳米Cu/Ru多层膜的制备方法，该方法采用磁控溅射技术，通过控制不同组成元素铜层和钌层交替更迭，并通过溅射过程转速、偏压等实验参数的调整铜层和钌层的单层厚度均与1.5nm，从而形成具有相同面心立方结构的铜层和钌层。该工艺通过在脆性钌相中加入第二相铜，诱导密排六方的钌层向面心立方的相转化。该方法制备的薄膜结构致密，可以很容易通过控制单层薄膜厚度来控制钌相的结构结构，从而为制备塑性优异的钌合金材料提供可能。同时，该方法操作简单，成本较低，易于在工业上实现和推广。
