[00076480]具有绝缘性能的类金刚石涂层及制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种具有绝缘性能的类金刚石涂层及制备方法，所述类金刚石涂层是经过调控涂层中Sp3键和Sp2键含量的兆欧姆级绝缘性能的DLC涂层；其中，Sp3键含量大于70％，Sp2键含量小于30％。该涂层具有兆欧姆级绝缘性能，同时具有耐磨、减摩和抗腐蚀性能；本发明的制备方法是在不掺任何金属的DLC涂层中，通过创新性的技术措施调控涂层中Sp3和Sp2含量及比例，从而获得兆欧姆级优异绝缘性能的DLC涂层。
本发明公开了一种具有绝缘性能的类金刚石涂层及制备方法，所述类金刚石涂层是经过调控涂层中Sp3键和Sp2键含量的兆欧姆级绝缘性能的DLC涂层；其中，Sp3键含量大于70％，Sp2键含量小于30％。该涂层具有兆欧姆级绝缘性能，同时具有耐磨、减摩和抗腐蚀性能；本发明的制备方法是在不掺任何金属的DLC涂层中，通过创新性的技术措施调控涂层中Sp3和Sp2含量及比例，从而获得兆欧姆级优异绝缘性能的DLC涂层。
