[00076696]用于光学元件加工的数控湿法化学刻蚀组合喷嘴
技术详细介绍
摘要：本发明提供的用于光学元件加工的数控湿法化学刻蚀组合喷嘴包括外喷嘴筒、内喷嘴筒和位于内喷嘴筒内用于喷出化学刻蚀液的喷口组件，所述外喷嘴筒和内喷嘴筒均由直圆筒段和异形锥筒段构成，外喷嘴筒通过作为其筒底的环形板与内喷嘴筒联接，外喷嘴筒的直圆筒段设计有乙醇蒸汽进口，外喷嘴筒内壁面和内喷嘴筒的外壁面形成用于乙醇蒸汽喷出的环形喷腔，环形喷腔的出口为长方形；所述喷口组件由成一排设置的多个喷口和与喷口相通的进液室构成，进液室设计有化学刻蚀液进口，喷口组件通过进液室设置在内喷嘴筒的筒底上，喷口组件的喷口端面高于环形喷腔的出口端面。该组合喷嘴可提高对光学元件的高频误差、表面破坏层和亚表面损伤层去除的加工效率。
