[00077530]一种程控晶体生长装置
技术详细介绍
本实用新型涉及一种全自动控制晶体生长装置。其炉膛内温度监测、控制和温场变化数据记录均全部可以编程实时控制。这种晶体生长装置，包括晶体炉、坩埚和晶体台及温度控制装置。其中温度控制装置包括单片机、可控硅、温度检测探头和变压器；单片机通过信号线连接置于晶体炉炉膛内的温度检测探头，通过数据线连接计算机，受计算机程序控制；可控硅通过信号线从单片机接入控制信号，通过电源线连接变压器输出控制；变压器通过电缆连接晶体炉上的发热体。本系统适用于晶体生长试验装置，也适用于规模化晶体生长生产。
