本发明涉及精细化工技术和催化新材料领域,公开了一种用于苯酐加氢制备苯酞的催化剂及其制备方法和一种苯酐加氢制备苯酞的方法,所述催化剂为负载型硅基金属间化合物M-Si/X,M为过渡金属,X为能够吸收微波的载体。所述催化剂采用化学气相沉积-微波处理的方法制备,所述苯酐加氢制备苯酞的方法中采用本发明提供的催化剂。本发明提供的负载型硅基金属间化合物催化剂在苯酐加氢制备苯酞的反应中表现出高催化活性、对目标产物苯酞的高选择性和高稳定性,在最佳的反应条件下,苯酐的转化率和苯酞的选择性均可达到99%,具有良好的工业应用前景。而且,本发明的催化剂的制备方法具有原料易得、工艺简便快速、能量高效以及环境友好的优点。