[00078171]铌锌酸铋微波介质薄膜的制备方法
技术详细介绍
本发明公开了一种铌锌酸铋微波介质薄膜的制备方法，目的在于，在传统溶胶凝胶法的基础上，通过微波加热和微波烧结代替传统水浴加热和反应炉烧结，很大程度地缩减制备时间，得到用于微波调谐元器件的性能优异的Bi2(Zn1/3Nb2/3)2O7(BZN)介质薄膜，所采用的技术方案为，首先采用微波加热制备铌的柠檬酸水溶液，在铌的柠檬酸水溶液中加入乙二醇，然后制备锌的乙二醇溶液和铋的乙二醇溶液，其次将锌的乙二醇溶液和铋的乙二醇溶液加入到第一步的溶液中制得铋锌铌溶胶前躯体，将铋锌铌溶胶前躯体均匀覆盖在基板上，采用微波烧结得到具有类焦绿石结构的铌锌酸铋多层薄膜。
