[00078312]一种用于蓝宝石晶体动态温度法生长的独立加热双坩埚连续供料装置
技术详细介绍
本实用新型设计了一种用于蓝宝石晶体动态温度法生长的独立加热双坩埚连续供料装置，其特征是所涉及的装置所涉及的装置包括位于生长坩埚(3)中熔体(4)上方的固定生长籽晶(2)的籽晶杆(1)，籽晶杆(1)由晶体生长设备的提拉头控制，生长坩埚(3)位于晶体生长加热炉中，加热炉的温度发热体(5)的温控设备独立控制，生长坩埚(3)通过连通器(6)与化料坩埚(11)中下面的熔体(10)相连，连通器中有一个耐高温的阀门(8)，可以控制连通器(6)中的熔体(9)的流动情况，通过控制连通器(6)外的发热体(7)的加热功率可以调节连通器(6)熔体的温度，化料坩埚(11)中的温度由位于其外壁的发热体(9)的加热功率控制，位于化料坩埚(11)中熔体(10)上方的固态料(12)能够在晶体生长过程中补充熔体(9)的消耗。所述的发热体(5)、(6)和发热体(9)的温度能够独立控制，这样做的有益效果是可以在关闭阀门(8)时可以根据需求分别调节生长坩埚(3)和化料坩埚(11)中的熔体高度。所述的生长坩埚(3)、化料坩埚(11)和连通器(6)以及阀门(8)由耐高温的钨金制作。所述的发热体(5)、(6)和发热体(9)由相同材质制钨条。所述的装置整体处于氮气保护中。
