[00078615]一种具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜及其制备方法
技术详细介绍
本发明提供一种具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜及其制备方法。本发明的具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜的制备方法，包括如下顺序进行的步骤：1)以乙酸铅、硝酸钆、硝酸锆和钛酸四丁酯为原料，乙二醇甲醚为溶剂，乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂，制备化学式为Pb1‑xGdx(ZryTi1‑y)O3的掺钆锆钛酸铅前驱体溶液，其中x为0.01‑0.05，y为0.52‑0.53，乙酰丙酮与甲酰胺的摩尔比为(0.80‑1.50)：(2.00‑2.55)；2)将所述掺钆锆钛酸铅前驱体溶液沉积在衬底上，热处理，得到具有(100)取向的掺钆锆钛酸铅薄膜，其中热处理包括：先在150‑180℃下快速干燥，然后在350‑450℃下热分解，再在600‑700℃退火处理。本发明的制备方法能够制得(100)晶向取向度高且介电性能优异的掺钆锆钛酸铅薄膜。
