[00078784]一种直接入射式光臂放大型一维线性测头
技术详细介绍
本发明公开了一种直接入射式光臂放大型一维线性测头，包括：用于发射激光束的激光源，用于接收激光源发射的激光束的光电探测器，用于固定激光源或光电探测器的测头基座，测头基座上设有用于检测的测杆和测球，用于使测头基座做直线运动的平移部件；以及根据光电探测器上所接收到的激光束入射位置变化值计算得到测球位移变化值的处理系统。该测头能够测量得到测头与被测工件接触导致的一维位移，以补偿被测工件定位时的测量偏差，进而获得更为准确的测量坐标；该测头提高了测量的精度，简化了结构，降低了生产成本，易于批量加工制造。
