一种制备SiO粉末的装置,涉及一氧化硅的制备技术领域,本装置将熔融反应装置和水冷沉积装置结合来制备SiO粉末,在熔融反应容器中生成SiO蒸汽进而通过反应容器侧壁上的SiO蒸汽导气管导流至水冷沉积装置内进行冷却沉积,在所述反应容器侧壁上设置有氩气进气孔,在反应容器内石英棒周围设置有倒圆锥形挡板,倒圆锥形挡板的上端与反应容器上端的通气孔边框连接,以使自反应容器上端进气口进入的氩气,沿石英棒环形进入坩埚内多晶硅粉与石英棒的反应界面,将生成的SiO蒸汽吹入炉膛内部,再经气体导流通道导出至水冷沉积装置内进行冷却沉积,整个反应过程简单、易操作、效率高。