[00078938]一种基于振动模态耦合的MEMS振荡器及控制方法
技术详细介绍
一种基于振动模态耦合的MEMS振荡器，由两个并排布置的悬臂梁‑质量块结构作为谐振子，选用了悬臂梁结构的纵向拉伸及横向弯曲振动模态作为振荡器的工作模态。其检测端使用了压阻法测振，通入检测电流后可以同时拾取两个振动模态的信号，进而将信号转入两组闭环控制器分别进行反馈调制，随后采用静电力输出的方法对拉伸与弯曲模态进行激振，从而实现两种模态的同时自激振荡。同时由于模态间的耦合关系，可以借由控制其中一个振动模态的振幅调节另一模态的谐振频率。两种模态共享一个谐振结构，受温度影响的幅度相同，亦可以借助一个模态对另一模态进行温度补偿。
