本发明属于高性能无机粉体材料的制造工艺领域,涉及一种碳化钛超微粉体的制备方法。本方法采用机械力活化辅助微波法合成碳化钛超微粉体。以粒径大于纳米级的二氧化钛粉体与炭黑为原料,经适当的机械力活化后,然后在氩气保护条件下采取微波固相合成法合成出纳米级或亚微米级的等轴晶状碳化钛颗粒。本发明使得非纳米级的二氧化钛(TiO2)原料适用于微波法合成碳化钛(TiC),具有原料廉价易得,工艺简单,可有效缩短大颗粒原料微波合成碳化钛的合成时间,提高合成效率,易于规模化生产的优点,且制备出的碳化钛为粒径50nm~200nm的纳米级或亚微米级颗粒,晶型较完整,纯度可达98%以上。