[00078963]一种增量式小量程位移传感器及测量方法
技术详细介绍
本发明公开了一种增量式小量程位移传感器及测量方法，该传感器包括激光束、两块反射镜间、分布式光电探测器和处理系统。运用该传感器，通过激光束在一组平行设置的两块反射镜间不断反射，最终照射到分布式光电探测器上，改变两块反射镜的间距，即会改变激光束的反射路径，分布式光电探测器上的探测部件一、探测部件二和探测部件三多次感应激光束，处理系统根据探测部件接收到激光束的次数以及探测部件间的间距处理得到一个探测值，这个探测值大于两块反射镜间距的真实改变值，处理系统能够通过这个探测值来计算出两块反射镜间距的真实改变值，该传感器结构简单，适用于被测物体位移变化的测量，测量可靠，精度较高，易于实现批量制造。
