[00079129]一种新型交替增量式测量微位移传感器及测量方法
技术详细介绍
本发明公开了一种新型交替增量式测量微位移传感器，包括激光束、固定反射镜、移动反射镜、探测反射镜、光电探测器一、光电探测器二和处理系统。运用该传感器，通过激光束在平行设置的固定反射镜与移动反射镜之中不断反射到探测反射镜，最终照射到两组光电探测器上，改变固定反射镜与移动反射镜的间距，即会改变激光束的反射路径，每组光电探测器上的三个探测部件多次感应激光束，处理系统根据每组探测部件感应到激光束的次数和感光顺序以及探测部件间的间距处理得到一个探测距离值，处理系统能够通过这个探测距离值来计算出固定反射镜与移动反射镜间距的真实改变值，该传感器结构简单，测量可靠，精度较高，易于实现批量制造。
