[00079241]一种交替增量式测量微位移传感器
技术详细介绍
本实用新型公开了一种交替增量式测量微位移传感器，包括激光束、两块反射镜间、光电探测器一、光电探测器二、导轨一、导轨二和和控制处理系统。运用该传感器，通过激光束在一组平行设置的两块反射镜之中不断反射，最终照射到两组光电探测器上，改变两块反射镜的间距，即会改变激光束的反射路径，在每组光电探测器所在导轨上移动光电探测器感应激光束，控制处理系统根据光电探测器的感光里程及感光方向处理得到一个探测位移值，控制处理系统能够通过这个探测位移值再加上或者减去光电探测器在轨道上的移动距离值经过计算后得出两块反射镜间距的真实改变值，该传感器结构简单，测量可靠，精度较高，易于实现批量制造。
