本发明的目的是提供一种[(Bi1/2Na1/2)0.9Ba0.1]0.955M0.03TiO3陶瓷靶材的制备方法,其中M为Ca、Sr和La中的一种;包括如下具体步骤(1)将起始原料Bi2O3、Na2CO3、BaCO3、TiO2、M2O3(或者MCO3)按照[(Bi1/2Na1/2)0.9Ba0.1]0.955M0.03TiO3相应的化学计量比称量;(2)将步骤(1)烘干的原料置于以酒精为介质、氧化锆球为磨球的尼龙罐中进行混料;(3)将步骤(2)制得的均匀浆料烘干,将其过筛并轻压成块状坯体;(4)将步骤(3)煅烧后的粉料研磨成细粉;(5)将步骤(4)过筛后的陶瓷粉料采用钢模手压成长方体样片;(6)将步骤(5)制成的陶瓷坯体置于马弗炉中。本发明提供的制备方法有利于后期制备出具有制冷温度效果好、制冷温区宽且接近室温的高性能[(Bi1/2Na1/2)0.9Ba0.1]0.955M0.03TiO3的铁电薄膜提供陶瓷靶材;本发明制备方法整个过程没有使用含铅的原料,是一种绿色制备技术。