[00080618]一种物品表面形貌检测方法及装置
技术详细介绍
本[发明专利]公开一种物品表面形貌检测方法：①低相干光线从三端环形器的端口1射进，从端口2射出，经第一透镜准直后从x‑y扫描振镜中的x振镜射入，y振镜射出；③射出的光线经第二透镜聚焦后经过一分光片被分为两部分光线，一部分从玻璃底面反射，作为参考光，另一部分穿透玻璃后射到被样品表面并反射，作为样品光；④两部分光线共光路返回，经第二透镜汇聚到扫描振镜的y振镜，经y振镜射入x振镜，然后射出；⑤光线经第一透镜汇聚进入三端环形器的端口2，然后从端口3射出；⑥从端口3射出的光线进入光谱仪，光谱仪传递数据给电脑；⑦扫描振镜对样品进行逐点扫描；⑧电脑计算相邻位置的相位差和深度差Δz，得到最终样品表面形貌的定量分布情况。
