[00081367]一种氧化物薄膜晶体管
技术详细介绍
本实用新型公开了一种氧化物薄膜晶体管，通过在氧化物半导体层的上方沉积金属纳米粒子层，然后在其上制备自组装分子层，相比原有的氧化物薄膜晶体管器件结构多了一层金属纳米粒子层和自组装分子层，该自组装分子层能在不损伤氧化物半导体层的前提下有效修饰氧化物表面以降低氧化物半导体层的表面能，减少水、氧吸附和解吸附现象，从而提高器件的稳定性。同时，氧化物半导体之上的金属纳米粒子层能提高氧化物半导体的载流子的迁移率，有利于提高器件迁移率。此外，金属纳米粒子层和自组装分子层还能提高氧化物半导体层的抗蚀性，减少后续镀膜或刻蚀对其造成的损伤，可以不必另外制备保护层，简化了制备工艺，降低了制备成本。
