[00081637]一种在铝板上生成氮化铝薄膜的方法
技术详细介绍
本[发明专利]公开一种在铝板上生成氮化铝薄膜的方法，其特征在于，在氮气环境下利用电火花产生的高温使铝板表面的铝与氮气反应，进而在铝板表面生成氮化铝薄膜层。具体包括以下步骤：1)清洗，首先将铝板置于装有丙酮的超声波清洗机中清洗去除铝板表面油污，然后将铝板置于碱液中浸泡去除铝板表面的氧化层；2)氮化铝薄膜层制备，在氮气环境下，将脉冲电源的一极与铝板连接，将脉冲电源的另一极与工具电极连接，利用工具电极与铝板间放电产生的瞬时高温将铝板表面的铝氮化成氮化铝。与现有技术相比，本[发明专利]具有制备工艺简单，加工效率高，生产成本低，氮化铝薄膜层不易剥落的特点。
