[00082228]玻璃平整度检测仪及检测方法
技术详细介绍
本[发明专利]公开了一种玻璃平整度检测仪，包括：光源、与所述光源相连接的光纤耦合器、以及分别与所述光纤耦合器的另三个端口相连接的参考端、样品端和数据采集及处理装置；本[发明专利]利用待测玻璃表面上的点为凸起或凹陷时与平整的点所对应的深度值不相等而引起低相干干涉信号强度不同的原理对玻璃平整度进行检测，样品端设置面阵光开关，可使多条测量光束依次穿过待测玻璃上下表面的各个位置，即上下表面的平整度同时测量，大大提高了检测的效率，数据采集及处理装置自动记录干涉的图像信号并拟合出三维图像而获得平整度信息，采用非接触的光学检测方法，测量时无需接触到玻璃，可避免因接触对待测玻璃造成的损伤，且检测精度高可达微米级别。
