[00082578]一种镜片缺陷检测装置及方法
技术详细介绍
本[发明专利]公开了一种镜片缺陷检测装置及方法，通过使用振镜扫描检测，结合机器视觉控制可以实时反馈检测过程，并通过振镜控制光源对镜片表面的各个点位置进行扫描式检测；原路返回的样品信号光与参考臂原路返回的参考信号光干涉后形成干涉光信号后，对干涉光信号进行二维图像重建，提取重建后的镜片平面信号变化曲线，与标准镜片曲线进行比较，就可以知道镜片是否存在缺陷；整个镜片缺陷检测装置的结构设置合理，满足使用要求。
本[发明专利]公开了一种镜片缺陷检测装置及方法，通过使用振镜扫描检测，结合机器视觉控制可以实时反馈检测过程，并通过振镜控制光源对镜片表面的各个点位置进行扫描式检测；原路返回的样品信号光与参考臂原路返回的参考信号光干涉后形成干涉光信号后，对干涉光信号进行二维图像重建，提取重建后的镜片平面信号变化曲线，与标准镜片曲线进行比较，就可以知道镜片是否存在缺陷；整个镜片缺陷检测装置的结构设置合理，满足使用要求。
