[00083488]电子束熔炼制备钒靶材的方法
技术详细介绍
电子束熔炼制备钒靶材的方法，属于靶材的制备技术领域。以棒状、条状等不规则的金属钒材边角料或含钒90%的钒铝合金为原料，在电磁聚焦电子束熔炼炉中熔炼，采用下拉制锭，炉体内的压强为1x10-1—1x10-3Pa,电子枪电压2.5-3万伏，电流3-6安培，制成产品直径为100-150mm，锭长500-1300mm，该法生产出的产品纯度可达99.95%以上，完全可以满足离子镀膜对靶材的需求。对于废弃的钒靶还可以回收重熔，具有成本低、提纯效果好、工艺简单的特点。
