[00083511]钒酸钇单晶片的批量加工工艺
技术详细介绍
钒酸钇单晶片的批量加工工艺，用X射线定向仪对钒酸钇单晶材料定向，用蜡把钒酸钇单晶材料固定好，用切割机切出钒酸钇晶片；选用窄于钒酸钇单晶片厚度的玻璃条，把所要上盘的晶片和玻璃条均匀涂上蜡，玻璃条摆成许多小方格，把晶片放入小方格中；用磨棒在晶片之间的沟滑动；在二轴机或四轴上用W20的金刚砂进行粗磨，用W7的金刚砂进行精磨，再进行抛光。先用氧化铈进行初抛，再用SiO 2 14—16%、Na0.3%、其它杂质0.01%、其余量为水的抛光液精抛。形成了整体上盘，整体倒角，解决了倒角难题，大幅度降低产品成本，大大提高产品的质量和生产效率。
