[00083638]用于薄膜沉积的铌和钒有机金属前体
技术详细介绍
式Cp(R 1 ) m M(NR 2 2 ) 2 (＝NR 3 )(I)的化合物：其中：M是独立地选自钒(V)或铌(Nb)的金属，且m≤5；R 1 是有机配体，各自独立地选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基；R 2 是有机配体，各自独立地选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基；R 3 是选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基的有机配体。
式Cp(R 1 ) m M(NR 2 2 ) 2 (＝NR 3 )(I)的化合物：其中：M是独立地选自钒(V)或铌(Nb)的金属，且m≤5；R 1 是有机配体，各自独立地选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基；R 2 是有机配体，各自独立地选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基；R 3 是选自H、包含1至6个碳原子的直链或支化烃基的有机配体。
