[00083812]一种二氧化钒涂层的制备方法
技术详细介绍
一种二氧化钒涂层的制备方法。首先对金属铜轧带进行电化学抛光，使其粗糙度小于5nm；随后采用离子束辅助沉积法在抛光过的铜基带上沉积一层厚度为5～10nm的氧化铝(Al2O3)薄膜；然后在氧化铝薄膜上采用化学溶液浸涂法制备二氧化钒(VO2)薄膜；再依次重复沉积Al2O3薄膜和VO2薄膜，制备出结构为Cu/Al2O3/VO2/Al2O3/VO2的二氧化钒涂层。本发明二氧化钒涂层可以应用于谐振型限流器，在常温时呈大电阻状态，发生故障短路时电压和电流增大，温度升高，二氧化钒涂层中的VO2发生相变，呈小电阻状态，此时的VO2涂层和Cu基带都能很好的负载电流，起到限流作用。
