[00084036]一种焦平面阵列微桥单元桥腿复合结构
技术详细介绍
一种焦平面阵列微桥单元桥腿复合结构，采用导电聚合物薄膜或掺杂导电聚合物薄膜作为焦平面阵列微桥单元中与桥面层的氧化钒或掺杂氧化钒热敏薄膜接触的引出电极，实现微桥单元中热敏薄膜与桥柱的电学连通。桥腿复合结构由上、下层SiNx薄膜层以及中间的导电聚合物薄膜层或掺杂导电聚合物薄膜层三层膜系构成。本发明采用热导率低的导电聚合物薄膜或掺杂导电聚合物薄膜作为电极材料，有利于降低微桥单元桥腿的热导率，降低引出电极的制造成本，而且可保证微桥结构制备与MEMS工艺良好的工艺兼容性。且本发明的桥腿复合结构中增设一桥腿吸收结构，有助于降低桥面的热量流失速率，提高焦平面阵列器件的灵敏度。
