[00084339]一种基于氧化钒的室温甲烷气体传感器的制备方法
技术详细介绍
本发明提供了一种基于氧化钒的室温甲烷气体传感器的制备方法，首先溅射，淀积交叉金属铂电极，通过直流磁控溅射镀金属钒纳米薄膜，再溅射掺杂金属铂颗粒，然后利用快速退火技术进行氧化生成氧化钒，最后进行传感器的气敏测试。本发明方法克服其他甲烷传感器工作温度点高的缺点，简单、易操作、在室温工作，是一种具有较高灵敏度、较高选择性、掺杂金属铂颗粒的氧化钒薄膜甲烷气敏传感器的制备方法。
本发明提供了一种基于氧化钒的室温甲烷气体传感器的制备方法，首先溅射，淀积交叉金属铂电极，通过直流磁控溅射镀金属钒纳米薄膜，再溅射掺杂金属铂颗粒，然后利用快速退火技术进行氧化生成氧化钒，最后进行传感器的气敏测试。本发明方法克服其他甲烷传感器工作温度点高的缺点，简单、易操作、在室温工作，是一种具有较高灵敏度、较高选择性、掺杂金属铂颗粒的氧化钒薄膜甲烷气敏传感器的制备方法。
