[00084798]增加氧化钒薄膜近红外波段吸收率的方法及由其制备的氧化钒薄膜
技术详细介绍
本发明提供一种增加氧化钒薄膜近红外波段吸收率的方法，包括以下步骤：通过化学腐蚀、光刻或压印中的一种，在氧化钒薄膜表面形成呈正方形排列的多个圆柱形单元，该多个圆柱形单元所形成的排列结构与空气形成折射率高低交错的光子晶体结构，利用周期结构对入射波的耦合，将入射波耦合为面内的Bloch波模式，从而增加氧化钒薄膜在近红外波段的光吸收率。利用本发明所提出的增加氧化钒薄膜近红外波段光吸收率的方法所制备的氧化钒薄膜，与未采用光子晶体周期结构的氧化钒薄膜相比，基于本发明制造的氧化钒薄膜在700nm-1700nm波段吸收率明显高于前者。
