[00084883]用离子注入制备钕掺杂钒酸钇晶体波导激光的方法
技术详细介绍
本发明用离子注入制备钕掺杂钒酸钇晶体波导激光的方法，主要在(Nd 3+ :YVO 4 )晶体中形成平面及条形波导和实现波导激光输出。采用能量为2.0-6.0MeV，剂量为1×10 12 ～5×10 15 离子/平方厘米范围的磷离子注入，在钕离子掺杂钒酸钇晶体表面形成平面光波导，或利用先做条形掩膜，再做磷离子注入的方法，形成钕离子掺杂钒酸钇的条形光波导。对波导端面进行激光谐振腔镀膜后，通过一定波长和功率的泵浦激光对钕离子掺杂钒酸钇平面波导或条形波导进行泵浦，输出波长为1064nm左右的红外激光。
