[00084891]一种快速热氧化方法制备的相变二氧化钒薄膜
技术详细介绍
本发明专利公开了一种快速热氧化方法制备的相变二氧化钒薄膜，包括导气直管、隔热盖、内罐、支撑罐、均热罐和加热圈，均热罐和加热圈安装在支撑罐内且三者的竖直中心线在同一直线上，加热圈处于均热罐和支撑罐之间，内罐插入到均热罐内且其上端通过其上挡圈安装在支撑罐外，隔热盖安装在支撑罐上且其中心线与内罐的中心线处于同一竖直直线上，导气直管穿过隔热盖并固定安装在内罐上端。
本发明专利公开了一种快速热氧化方法制备的相变二氧化钒薄膜，包括导气直管、隔热盖、内罐、支撑罐、均热罐和加热圈，均热罐和加热圈安装在支撑罐内且三者的竖直中心线在同一直线上，加热圈处于均热罐和支撑罐之间，内罐插入到均热罐内且其上端通过其上挡圈安装在支撑罐外，隔热盖安装在支撑罐上且其中心线与内罐的中心线处于同一竖直直线上，导气直管穿过隔热盖并固定安装在内罐上端。
